金融界2024年11月13日音讯，国家知识产权局信息数据显现，先导薄膜资料（广东）有限公司请求一项名为“一种低电阻高密度氧化物靶材前驱体及其制备办法”的专利，公开号 CN 118930227 A，请求日期为2024年9月。
专利摘要显现，本发明归于新资料技术领域，公开了一种低电阻高密度氧化物靶材前驱体的制备办法，将含氧化物前驱体的浆料进行砂磨，然后造粒；所述氧化物前驱体中含有不低于97.5wt％的氧化铟；砂磨所用的磨球的粒径分别为0.3mm、0.4～0.6mm、0.8～1.0mm；0.3mm的磨球、0.4～0.6mm的磨球、0.8～1.0mm 的磨球的质量比为4～7：1～4：1～4。本发明的办法针对高氧化铟含量的靶材，采用了砂磨法并合作不同粒径的磨球来完成前驱体粉末之间空隙减小、下降粉末之间的直接触摸电阻和位垒电阻，终究进步前驱体的密度、下降电阻、改进聚会功能。一起，本发明还供给了一种低电阻高密度氧化物靶材前驱体。
